Méthode de grattage de la machine de revêtement sous vide
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Méthode de grattage de la machine de revêtement sous vide
La méthode de rayure est une méthode de test standard pour mesurer "quantitativement" la force de liaison et le mode de rupture de la base du film de revêtement. Une aiguille avec une boule de diamant est utilisée pour gratter en continu la surface du revêtement, tandis que la charge est progressivement augmentée sur l'aiguille. La force de charge appliquée au moment où le revêtement est complètement rayé ou le revêtement est manifestement pelé est la force de liaison du revêtement, exprimée en Newtons N.
La norme américaine ASTMC1624-05 convient aux revêtements céramiques durs déposés sur des substrats céramiques ou métalliques (dureté Vickers supérieure à 5GPa, épaisseur inférieure ou égale à 30um), à température ambiante, pour tester la force de liaison. En termes simples, en observant l'image de la rayure au microscope, en marquant les points de LC1, LC2 et même LC3, et en calculant l'amplitude de la charge appliquée aux positions où ces points apparaissent.
Habituellement, LC1 signifie que des fissures apparaissent sur le bord de la rayure, indiquant que le revêtement commence à se détériorer. LC2 signifie que la rayure commence à se décoller, indiquant que le revêtement a complètement échoué. Généralement, nous utilisons LC2 pour définir la force de liaison du revêtement. À l'heure actuelle, cette norme est principalement utilisée au niveau international.
La norme nationale JB/T8554-1997 est une méthode de test de rayure utilisée dans mon pays pour mesurer la force de liaison de la base du film. Il s'agit de déterminer le point de rupture du revêtement en détectant le signal acoustique au moment où le revêtement est rayé, c'est-à-dire le collage du revêtement. force. Parce que ce son est très petit, il est difficile pour l'ouïe humaine de le percevoir avec précision. Généralement, un capteur pouvant accepter un son faible est installé entre le DUT et l'aiguille, puis le signal est amplifié. Généralement, un pic du spectre sonore apparaît sur la courbe du signal sonore. La charge correspondante a été prise comme valeur de la force de liaison basée sur la membrane.
Étant donné que le signal acoustique est fortement affecté par l'environnement, de nombreuses unités utilisent encore la méthode d'observation de la trajectoire des rayures avec un microscope optique et déterminent la force de liaison de la base du film en déterminant la valeur LC2. Les compteurs à gratter sont généralement plus chers, et les compteurs à gratter domestiques coûtent essentiellement plus de 100 000 yuans, de sorte que les petites entreprises achètent rarement des compteurs à gratter. Généralement, les grandes entreprises, les écoles ou les instituts de recherche achètent des compteurs à gratter.
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