La pompe principale de la machine de revêtement sous vide est configurée

La pompe principale de la machine de revêtement sous vide est configurée

Quelles pompes principales sont principalement sélectionnées pour l'équipement de revêtement ? Le système de vide est très important dans l'industrie des équipements de revêtement, et c'est l'un des équipements qui ne manque pas. À l'heure actuelle, la structure du système de vide couramment utilisée est généralement composée d'une pompe principale et d'une pompe secondaire en série, ainsi que d'une conduite de vannes et d'un instrument de mesure du vide. La pompe principale sélectionnée est essentiellement divisée en deux formes, à savoir le vide à base d'huile et le système de vide sans huile.

Concept d'uniformité du film d'enduction sous vide

1. L'uniformité de l'épaisseur peut également être comprise comme la rugosité. À l'échelle des films optiques (c'est-à-dire 1/10 de longueur d'onde comme unité, environ 100 A), l'uniformité du revêtement sous vide est assez bonne et la rugosité peut être facilement éliminée. Le degré de contrôle est inférieur à 1/10 de la longueur d'onde de la lumière visible, ce qui signifie qu'il n'y a aucun obstacle aux propriétés optiques du film. Cependant, s'il s'agit de l'uniformité à l'échelle de la couche atomique, c'est-à-dire pour atteindre une planéité de surface de 10A voire 1A, les facteurs de contrôle spécifiques seront expliqués en détail ci-dessous selon les différents revêtements.

2. Uniformité de la composition chimique : c'est-à-dire que dans le film, la composition atomique du composé produira facilement des caractéristiques inégales en raison de la petite échelle. Si le processus de revêtement du film SiTiO3 n'est pas scientifique, la composition de la surface réelle ne sera pas la même. Ce n'est pas du SiTiO3, mais peut être d'autres ratios. Le film de revêtement n'est pas la composition chimique du film souhaité, qui est également le contenu technique du revêtement sous vide.

3. Uniformité de l'ordre du réseau : cela détermine si le film est monocristallin, polycristallin ou amorphe, ce qui est un problème brûlant dans la technologie de revêtement sous vide.

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