Conception modulaire de la machine de revêtement sous vide, entretien facile
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Conception modulaire de la machine de revêtement sous vide, entretien facile
1. Il existe des structures horizontales et verticales, qui peuvent réaliser un revêtement simultané sur un côté;
2. Efficacité de production, la vitesse la plus rapide est de 1 minute/battement ;
3. Conception modulaire, entretien facile ;
4. Le processus de revêtement est mature et le rendement est élevé.
5. La cathode de pulvérisation magnétron DC peut être sélectionnée selon les exigences du client ;
6. Le système de vide se compose d'une pompe mécanique, d'une pompe à racines et d'une pompe à diffusion ;
La machine de revêtement sous vide garantit que l'alimentation en eau de refroidissement de l'équipement n'est pas obstruée
Avant que la pompe à diffusion et la pompe de surpression d'huile ne soient chauffées, l'eau de refroidissement doit être raccordée et la pompe de maintenance doit être mise en marche. La pompe à diffusion et la pompe de surpression cessent de fonctionner, maintenez la pompe pendant une demi-heure avant de l'arrêter et coupez l'eau après 1 heure, mais lorsque l'intérieur de la pompe n'est pas refroidi en dessous de 80 degrés, ne coupez pas l'eau de refroidissement pour empêcher le noyau de la pompe de brûler.
La pompe à diffusion et la pompe de surpression ont chacune une sortie d'eau de secours. Si la machine de revêtement tombe en panne ou a une panne de courant, la sortie de secours doit être ouverte pour lui permettre de refroidir la pompe à diffusion et la pompe de surpression. Matériel brûlé. Lorsque la pompe à diffusion et la pompe de surpression d'huile sont chauffées, ne pas entrer en contact avec l'atmosphère pour éviter l'oxydation de l'huile de la pompe. Vérifiez et ajustez régulièrement le relais de débit d'eau, vérifiez si l'alarme de coupure d'eau est normale et assurez-vous que l'alimentation en eau de refroidissement de l'équipement est fluide. Avant de démonter et d'assembler chaque machine de la machine de revêtement Lors de l'installation des pièces, il convient de veiller à protéger les surfaces d'étanchéité contre les rayures mécaniques ou les dommages afin d'assurer des performances d'étanchéité fiables de la machine de revêtement.
La machine de revêtement sous vide peut choisir d'utiliser une pompe à deux étages ou une pompe à plusieurs étages
L'équipement de revêtement sous vide a de plus en plus d'exigences pour la limite du degré de vide et de la force de pression de travail, et plus les exigences pour la capacité de pompage sous vide de la pompe à vide sont élevées, au moins le degré de vide ultime de la pompe est supérieur au vide de travail degré de l'équipement de vide. Plus d'un demi-ordre de grandeur. Chaque pompe a une certaine plage de pression de travail. Par exemple, la pression de la pompe à diffusion est de 3~10-7mmHg et sa plage de pression de travail stable est de 5*10-4~5*10-6mmHg. Travaillez en dehors de la plage de pression de fonctionnement non spécifiée. Lorsque la pression de gaz requise par la pompe n'est pas élevée ou que le degré de vide requis n'est pas élevé, la pompe à un étage peut être sélectionnée en premier. Les exigences en matière de pression d'échappement ou de degré de vide sont relativement élevées et la pompe à un étage ne peut souvent pas répondre aux exigences. , vous pouvez choisir d'utiliser une pompe à deux étages ou une pompe à plusieurs étages.
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