Système de refroidissement de la machine de revêtement sous vide
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Système de refroidissement de la machine de revêtement sous vide
La machine de revêtement sous vide est équipée d'une chambre à vide au milieu et de portes gauche et droite sur les côtés gauche et droit de la chambre à vide, et équipée d'un dispositif d'évaporation et d'un dispositif magnétron. L'interface des deux appareils peut être réservée sur la double porte en cas de besoin Dress up. La machine de revêtement sous vide est généralement composée d'un système de vide, d'un système d'évaporation, d'un système d'enroulement de film, d'un système de refroidissement, d'un système de contrôle et d'autres pièces principales.
Effet lubrifiant du lubrifiant au bisulfure de molybdène dans la machine de revêtement sous vide
Les méthodes de lubrification sous vide comprennent généralement le placage d'un film lubrifiant solide et l'utilisation directe de lubrifiants, qui sont faciles à endommager la précision du mouvement du rail de guidage, et le processus est compliqué.
À cette fin, nous avons testé l'effet lubrifiant d'un lubrifiant au bisulfure de molybdène de base, pulvérisé le lubrifiant directement sur la surface de la paire mobile et utilisé un spectromètre de masse quadripolaire pour analyser le gaz volatilisé du lubrifiant dans le vide. ingrédient principal.
La quantité de compensation de la machine de revêtement sous vide à l'état de vide est à nouveau ajustée
La quantité de compensation dans l'état de vide calculée par le calcul par éléments finis (ou mesurée dans la première étape) est à nouveau ajustée. De toute évidence, le faisceau réfléchi à ce moment est loin du champ de vision de réception de l'autocollimateur, mais une fois que la chambre à vide entre dans l'état de vide, le faisceau réfléchi est à nouveau réajusté. Entrez dans le champ de vision de réception de l'autocollimateur et enregistrez l'écart d'angle bidimensionnel à ce moment. Les écarts angulaires bidimensionnels affichés avant et après sont fondamentalement cohérents.
Lubrification de la paire mobile de la table de travail et son impact sur l'environnement sous vide Le balayage de la table de travail est un mouvement fréquent dans l'environnement de la chambre sous vide. En plus de rouler au lieu de glisser pour réduire le coefficient de frottement, une bonne lubrification est une condition nécessaire pour assurer le fonctionnement normal à long terme du dispositif de gravure.
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