Exigences de fabrication sous vide évaporatif pour revêtement sous vide

Exigences de fabrication sous vide évaporatif pour revêtement sous vide

1. La qualité d'usinage des pièces et composants de l'équipement, la qualité des pièces soudées et la qualité de l'assemblage doivent être conformes aux dispositions des documents techniques du fabricant

2. La valeur de rugosité Ra de la surface intérieure du revêtement de l'équipement et de chaque surface d'étanchéité ne doit pas être supérieure à 1,6 um, et les surfaces qui sont dans un état de vide pendant le fonctionnement doivent être efficacement nettoyées à l'aspirateur et séchées. Les mouvements de chaque pièce rotative et du mécanisme de levage doivent être flexibles et il ne doit pas y avoir de blocage, de stagnation, de desserrage, de secousse et de bruit anormal.

3. Les matériaux des parties principales de l'équipement doivent être conformes aux dispositions des normes de matériaux correspondantes.

4. La qualité de l'équipement électrique supportant l'équipement doit être conforme aux dispositions des documents techniques du fabricant et doit assurer la sécurité et la fiabilité du fonctionnement et de l'exploitation de l'équipement.

5. La qualité d'apparence de l'équipement doit être exempte d'angles vifs, de bords et d'angles, de saillies et de surfaces inégales rugueuses qui ne sont pas fonctionnellement requises. Le bord de la surface de joint des pièces doit être net et symétrique, et il ne doit y avoir aucune dislocation évidente. Le revêtement des pièces métalliques doit être ferme, sans tomber ni rouiller, et toutes les pièces solides doivent avoir une couche antirouille. La surface peinte de l'équipement doit être lisse, belle, ferme, exempte de pelage, de pelage et d'autres phénomènes.

6. Les produits de support achetés dans l'équipement doivent répondre aux normes de produit correspondantes et doivent avoir un certificat de qualité. Les produits de support fabriqués par nos soins dans l'équipement ne peuvent être utilisés qu'après avoir passé l'inspection par le service d'inspection du fabricant.

7. Diverses sources d'évaporation, sources d'ions auxiliaires et bombardement ionique, rotation de la pièce, cuisson de la pièce, polarisation de la pièce, surveillance de l'épaisseur du film et autres dispositifs de l'équipement. Le débogage doit être effectué élément par élément et débogage conjoint, et ses performances doivent répondre aux exigences de conception et fonctionner de manière fiable. La pièce doit être chauffée à la température nominale, la température de surface de la chambre à vide ne doit pas dépasser 45 degrés et les pièces mobiles de l'équipement doivent pouvoir fonctionner normalement.

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