La machine de revêtement sous vide doit être combinée avec une variété de pompes différentes pour fonctionner les unes avec les autres
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La machine de revêtement sous vide doit être combinée avec une variété de pompes différentes pour fonctionner les unes avec les autres
Lors du choix d'une pompe à vide, faites tout d'abord attention à savoir si les vibrations générées par la pompe à vide pendant le fonctionnement ont un impact sur le processus et l'environnement. Si le processus est affecté, des mesures anti-vibrations doivent être prises ou une autre pompe à vide doit être sélectionnée. Lors du choix, vous devez connaître la composition du gaz à pomper. Si un pompage sélectif est requis, une seule pompe peut ne pas suffire à répondre aux exigences et plusieurs pompes différentes doivent être combinées pour fonctionner ensemble. Si le revêtement de l'équipement de revêtement sous vide ne nécessite pas d'huile, il est nécessaire de choisir une pompe sans huile.
Le prix et le coût de maintenance de la pompe à vide sont également l'un des points clés que nous considérons.
Le refroidissement de la coucheuse sous vide est nécessaire pour toutes les sources (magnétron, multi-arc, ionique)
La pulvérisation magnétron réactive d'isolants semble aisée, mais l'opération proprement dite est délicate. Le principal problème est que la réaction se produit non seulement sur la surface de la pièce, mais également sur l'anode, la surface de la chambre à vide et la surface de la source cible. Provoquant ainsi une extinction d'incendie, une source cible et un arc de surface de la pièce, etc. La technologie de source à double cible inventée par Leybold en Allemagne résout très bien ce problème. Le principe est qu'une paire de sources cibles sont la cathode et l'anode l'une de l'autre, éliminant ainsi l'oxydation ou la nitruration de la surface de l'anode. Le refroidissement est nécessaire pour toutes les sources (magnétron, multiarc, ions), car une grande partie de l'énergie est convertie en chaleur. S'il n'y a pas de refroidissement ou un refroidissement insuffisant, cette chaleur fera atteindre la température de la source cible à plus de 1,000 degrés et fera fondre toute la source cible.
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