La machine de revêtement sous vide est la réaction ne se produit pas seulement sur la surface de la pièce
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La machine de revêtement sous vide est la réaction ne se produit pas seulement sur la surface de la pièce
La pulvérisation réactive magnétron d'isolants semble aisée, mais l'opération proprement dite est délicate. Le principal problème est que la réaction se produit non seulement sur la surface de la pièce, mais également sur l'anode, la surface de la chambre à vide et la surface de la source cible. Provoquant ainsi une extinction d'incendie, une source cible et un arc de surface de la pièce, etc. La technologie de source à double cible inventée par Leybold en Allemagne résout très bien ce problème. Le principe est qu'une paire de sources cibles sont la cathode et l'anode l'une de l'autre, éliminant ainsi l'oxydation ou la nitruration de la surface de l'anode. Le refroidissement est nécessaire pour toutes les sources (magnétron, multiarc, ions), car une grande partie de l'énergie est convertie en chaleur. S'il n'y a pas de refroidissement ou un refroidissement insuffisant, cette chaleur fera atteindre la température de la source cible à plus de 1,000 degrés et fera fondre toute la source cible. .
La coucheuse sous vide a inventé la pulvérisation réactive magnétron
Il est facile de pulvériser des métaux et des alliages avec des sources cibles de magnétron, et l'allumage et la pulvérisation sont pratiques. En effet, la cible (cathode), le plasma et la chambre à vide de la pièce pulvérisée peuvent former un circuit. Mais en cas de pulvérisation d'isolants tels que la céramique, le circuit est interrompu. Ainsi, les gens utilisent une alimentation haute fréquence et ajoutent un condensateur puissant à la boucle. De cette manière, le matériau cible devient un condensateur dans le circuit isolant.
Cependant, l'alimentation électrique de pulvérisation magnétron haute fréquence est coûteuse, le taux de pulvérisation est très faible et la technologie de mise à la terre est très compliquée, il est donc difficile de l'utiliser à grande échelle. Pour résoudre ce problème, la pulvérisation réactive magnétron a été inventée. C'est-à-dire, en utilisant une cible métallique, en ajoutant de l'argon et un gaz réactif tel que l'azote ou l'oxygène. Lorsque la cible métallique frappe la pièce, elle se combine avec le gaz réactif pour former des nitrures ou des oxydes en raison de la conversion d'énergie.
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