Oxydation de surface de tiges de carbure de silicium utilisées pour générer des films minces de dioxyde de silicium

Pendant l'utilisation, la surface de la tige de carbure de silicium s'oxyde pour former un film de dioxyde de silicium. Une utilisation prolongée augmente le film de dioxyde de silicium et la valeur de résistance de la tige de carbure de silicium. Le film de silice subit une expansion et une contraction anormales près du point critique de cristallisation (270 degrés). En raison de la fluctuation constante de la température pendant l'utilisation intermittente du four, le film de dioxyde de silicium est cassé à plusieurs reprises pour accélérer l'oxydation. Par conséquent, lorsque la température du four en cas de panne de courant chute à la température ambiante, la résistance augmente souvent fortement. Si les valeurs de résistance des tiges de carbure de silicium sont différentes, la charge des tiges de carbure de silicium à haute résistance est plus concentrée lorsqu'elles sont connectées en série, ce qui peut facilement entraîner une augmentation rapide de la résistance d'une certaine tige de carbure de silicium et une durée de vie plus courte. Les tiges en carbure de silicium sont généralement utilisées en combinaison avec un câblage en série et en parallèle. Il est recommandé d'utiliser deux connexions en série en tant que groupe, puis plusieurs connexions parallèles. Surtout lorsque la température à l'intérieur du four dépasse 1350 degrés, il doit être connecté en parallèle. Il est recommandé d'utiliser un câblage en triangle ouvert pour le câblage triphasé.