Machine de nettoyage à ultrasons pour semi-conducteurs

Machine de nettoyage à ultrasons pour semi-conducteurs

L'industrie des semi-conducteurs est au cœur de l'industrie électronique moderne, et le fondement de l'industrie des semi-conducteurs est l'industrie des matériaux en silicium. Bien qu'une variété de nouveaux matériaux semi-conducteurs continuent d'émerger, plus de 90 % des dispositifs et circuits semi-conducteurs, en particulier les circuits intégrés à très grande échelle (ULSI), sont fabriqués sur des tranches épitaxiales et de polissage monocristallin de silicium de haute pureté et de haute qualité.

L'importance du nettoyage des plaquettes de silicium pour l'industrie des semi-conducteurs est très appréciée depuis le début des années 1950, car les contaminants à la surface des plaquettes de silicium peuvent sérieusement affecter les performances, la fiabilité et le rendement des dispositifs. Avec le développement rapide de la technologie microélectronique et la demande croissante de matières premières, l'impact des polluants sur les appareils devient de plus en plus important.

Dans les années 1970, un multiplicateur d'électrons multicanal a été développé sur la base d'un multiplicateur d'électrons monocanal. Les plaques à microcanaux ont été largement utilisées en raison de leur structure simple, de leur gain élevé, de leur temps de réponse rapide et de leurs caractéristiques d'imagerie spatiale. Il est principalement utilisé dans divers types d'intensificateurs d'image, d'appareils de vision nocturne, de détecteurs de position quantique, d'amplificateurs de rayons, de microscopes ioniques de champ, d'oscilloscopes à large bande ultra rapides, de multiplicateurs photoélectriques, etc. La plaque à microcanaux est un multiplicateur d'électrons à plusieurs réseaux, qui est le composant central d'un intensificateur d'image à faible niveau de lumière. Le processus de fabrication du MCP est long et complexe, et les défauts apparents sont l'un des principaux facteurs limitant le rendement du MCP. Au cours du processus de fabrication du MCP, il est inévitable d'être contaminé par de la poussière, des métaux, des substances organiques et des substances inorganiques. Ces polluants peuvent facilement provoquer des défauts de surface et des salissures dans les trous, entraînant des points d'émission, des points noirs, des taches sombres, etc., entraînant une baisse du rendement en MCP, rendant la qualité des tubes instable, voire inefficace. Par conséquent, il est important d'utiliser la technologie de nettoyage par ultrasons pour éliminer les contaminants pendant le processus de fabrication du MCP.

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