Procédure de fonctionnement de la machine de revêtement sous vide

Procédure de fonctionnement de la machine de revêtement sous vide

 

① Vérifiez si chaque interrupteur de commande de fonctionnement de la machine de revêtement sous vide est en position "off".

 

② Allumez l'interrupteur d'alimentation principal et l'équipement est sous tension.

 

③ Retirez la soupape basse pression. Ouvrez la valve de gonflage, une fois que le son du flux d'air ne peut plus être entendu, démarrez la valve à cloche et la cloche monte.

 

④ Installez et fixez le réchauffeur en spirale de tungstène. Fixez le film PVDF et le couvercle en aluminium sur le disque rotatif. Enfilez le fil d'aluminium dans le réchauffeur hélicoïdal. Nettoyez toutes les parties de la cloche pour vous assurer qu'il n'y a pas d'impuretés.

 

⑤ Déposez la cloche.

 

⑥ Démarrer la pompe mécanique à vide.

Machine de revêtement sous vide Revêtement par pulvérisation

 

Il existe de nombreux types de revêtements de pulvérisation. D'une manière générale, la différence avec les revêtements par évaporation est que le taux de pulvérisation deviendra l'un des principaux paramètres.

 

Pour le revêtement de pulvérisation laser pld dans le revêtement de pulvérisation, l'uniformité de la composition est facile à maintenir, mais l'uniformité de l'épaisseur à l'échelle atomique est relativement médiocre (car il s'agit d'une pulvérisation pulsée), et le contrôle de la croissance de l'orientation cristalline (bord extérieur) est aussi relativement général.

Uniformité cristalline de la machine de revêtement sous vide :

 

1. Correspondance de réseau

 

2. température du substrat

 

3. Taux d'évaporation

Uniformité des composants de la machine de revêtement sous vide :

 

L'uniformité des composants du revêtement par évaporation n'est pas facile à garantir, et les facteurs spécifiques qui peuvent être ajustés sont les mêmes que ci-dessus, mais en raison de la limitation du principe, l'uniformité des composants du revêtement par évaporation n'est pas bonne pour le revêtement non monocomposant.

L'uniformité d'épaisseur de la coucheuse sous vide dépend principalement de :

 

1. Le degré d'appariement de réseau entre le matériau du substrat et le matériau cible

 

2. Température de surface du substrat

 

3. Puissance d'évaporation, taux

 

4. Degré de vide

 

5. Temps et épaisseur du revêtement.

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