Paramètres de réglage de la pulvérisation magnétron de la coucheuse sous vide
Laisser un message
Paramètres de réglage de la pulvérisation magnétron de la coucheuse sous vide
La large application de l'équipement de revêtement par pulvérisation magnétron est déterminée par les caractéristiques de la technologie, qui peuvent être résumées comme suit : divers matériaux pouvant être préparés en cibles peuvent être utilisés comme matériaux à couche mince, y compris divers métaux, semi-conducteurs, matériaux ferromagnétiques, ainsi que des oxydes isolants, des céramiques, des polymères, etc.
De plus, les paramètres de réglage de la pulvérisation magnétron peuvent ajuster les performances du film, particulièrement adaptées au revêtement de grande surface, et la zone de dépôt est plus uniforme.
L'impédance du plasma de pulvérisation magnétron de la coucheuse sous vide est faible
L'équipement de revêtement par pulvérisation magnétron peut préparer une variété de films minces, des films minces avec différentes fonctions, et peut également déposer des mélanges et des films minces composés avec des composants mixtes ; l'impédance du plasma de pulvérisation magnétron est faible, ce qui entraîne un courant de décharge élevé, à une tension d'environ 500V Le courant de décharge peut être de 1A à 100A (selon la longueur de la cathode); la vitesse de formation du film est élevée et la vitesse de dépôt peut être modifiée de 1 nm/s à 10 nm/s ; la consistance de la formation du film est bonne, même dans la cathode de plusieurs mètres de long. Dans le cas de la pulvérisation cathodique, la cohérence de la couche de film peut encore être assurée ; l'échauffement du substrat est faible ; l'énergie des particules pulvérisées est d'environ des dizaines d'électronvolts, la formation de film est relativement dense et la base du film est bien liée.
La température de chauffage de l'équipement de la machine de revêtement sous vide est trop élevée :
Parce que la puissance du réchauffeur de la pompe à diffusion ne correspond pas à la puissance nominale, elle est trop élevée, ce qui entraîne une grande quantité de vapeur, ce qui peut provoquer un retour d'huile, et cela peut être résolu en remplaçant le fil du four électrique.
Le canal d'eau de refroidissement de la machine de revêtement sous vide n'est pas lisse ou la pression de l'eau n'est pas suffisante :
En conséquence, la capacité de refroidissement est réduite, la partie supérieure de la pompe à diffusion devient chaude et la vapeur d'huile ne peut pas être bien liquéfiée. La solution consiste à connecter le tuyau d'entrée de la pompe à diffusion à une source d'air de 4mpa pour souffler le tartre, et le tuyau de sortie est également soufflé à 4mpa. Si le tartre est très épais et ferme, de l'acide chlorhydrique dilué peut être introduit. Ou remplacer la pompe à diffusion.
www.superchauffeur.com
