Dépôt de couches minces sur des substrats par la méthode de pulvérisation d'une coucheuse sous vide
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Dépôt de couches minces sur des substrats par la méthode de pulvérisation d'une coucheuse sous vide
La pulvérisation cathodique est un phénomène dans lequel des particules chargées (généralement des ions positifs de gaz inerte) sont utilisées pour bombarder la surface d'un solide (ci-après dénommé la cible), provoquant ainsi la fuite d'atomes (ou de molécules) à la surface de la cible. il. Ce phénomène a été découvert par Grove en 1842 alors qu'il étudiait expérimentalement le problème de la corrosion cathodique, lorsque le matériau de la cathode migrait vers la paroi du tube à vide. La coucheuse sous vide utilisant cette méthode de pulvérisation pour déposer des films minces sur le substrat a été introduite en 1877.
Classification et champ d'application de la machine de revêtement sous vide
Habituellement, la méthode de dégazage de la pièce que nous utilisons est la cuisson, et le gaz et l'humidité de la pièce sont évacués par chauffage. Avant le revêtement, la pièce est chauffée pendant le pompage. Avec le gaz dans la chambre à vide, il est pompé par la pompe à vide.
Différentes mesures de dégazage sont prises pour différentes pièces afin de contrôler efficacement l'émission de gaz et d'humidité à l'intérieur de la pièce et d'améliorer la stabilité et l'uniformité du revêtement. Classification et champ d'application de la machine de revêtement sous vide La machine de revêtement sous vide fait principalement référence à un type de revêtement qui doit être effectué sous vide poussé, y compris de nombreux types, y compris l'évaporation ionique sous vide, la pulvérisation magnétron, l'épitaxie par faisceau moléculaire MBE, le dépôt par pulvérisation laser PLD Et tant de sortes.
La probabilité d'une machine de revêtement sous vide dépend des propriétés physiques de la pièce elle-même
Certaines pièces contiennent beaucoup de gaz, d'humidité, etc. Ces substances seront déchargées dans la chambre à vide lorsque l'équipement est chauffé, ce qui réduit le degré de vide. De plus, certains gaz contiennent des composants toxiques qui endommagent directement la chambre à vide. La structure mécanique interne empêche l'équipement de fonctionner correctement. De plus, pendant le processus de revêtement, en raison du chauffage et de la dilatation du gaz dans la pièce, il est facile de fissurer le film revêtu. Bien entendu, la probabilité de cette situation dépend des propriétés physiques de la pièce elle-même, telles que les plastiques faciles à dilater, la probabilité est relativement élevée. Pour les matériaux durs tels que le métal, la probabilité est relativement faible, mais elle ne peut être ignorée, de sorte que le dégazage de la pièce est très nécessaire.
L'état de vide est l'environnement qui prend en charge le fonctionnement de la machine de revêtement sous vide, en particulier l'équipement qui nécessite un degré élevé de vide. Habituellement, nous devons atteindre un degré élevé de vide. Le rôle du système d'extraction d'air est indispensable, mais en plus du système d'extraction d'air, dans l'équipement de revêtement sous vide En cours de fonctionnement, un autre point est le dégazage de la pièce.
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